我們對直線電機有一點了解，電機具有加減速高、慣性小、精度高、系統剛度好的優點，那么如何確定和測量直線電機的高精度的呢？

　　工作平行度：在安裝直線電機模組的平臺上放置標準尺，用測試指示器檢測內部滑塊的移動范圍。在運動范圍內的讀數差就是測量值。

　　（2）定位精度：以直線電機模組的行程作為對比長度，用實際情況到對比位置的移動距離與指令值之間的誤差值表示。

　　（3）重復定位精度：對同一方向任意點重復定位7次，然后測量其停止位置，計算表頭讀數1/2的差值。作為測試原理，在移動距離的中間和大致兩端進行測試，測試值中的值作為測量值，表示為1/2,差值為±。

　　（4）間隙：內部滑塊剛開始被用作基準測試的滑塊，從國家開始不依賴于飼料單位，與滑塊運動的負荷量相同（工作臺的方向），在測試之后，將基本價值與最初的負荷量的位置進行測量。在運動部件的中間和大致兩端進行試驗，所得值中的值作為實測值。